标题：
사진 식각용 장치 및 방법, 그리고 이를 이용한 액정 표시장치용 박막 트랜지스터 기판의 제조 방법
授权日：
2007-02-15
公开(公告)号：
KR100686228B1
申请日：
2000-03-13
公开(公告)日：
2007-02-22
当前申请(专利权)人：
삼성전자주식회사
发明人：
박운용 | 윤종수
简单同族：
JP2001319876A | KR100686228B1 | KR1020010091119A | TW459285B | US20010041394A1 | US20020197539A1 | US6451635 | US7504342
简单同族成员数量：
8
简单同族被引用专利总数：
86
诉讼案件数：
0
法律状态/事件：
未缴年费 | 权利转移