标题：
薄膜トランジスタの製造装置及び方法、並びに当該装置及び方法により製造された薄膜トランジスタを用いる液晶表示装置
授权日：
1900-01-01
公开(公告)号：
JP2002319591A
申请日：
2001-04-20
公开(公告)日：
2002-10-31
当前申请(专利权)人：
松下電器産業株式会社
发明人：
寺田 正孝 | 生田 茂雄
简单同族：
JP2002319591A
简单同族成员数量：
1
简单同族被引用专利总数：
0
诉讼案件数：
0
法律状态/事件：
撤回