标题：
micro LED巨量转移装置及micro LED巨量转移方法
授权日：
2021-10-08
公开(公告)号：
CN111584689B
申请日：
2020-05-13
公开(公告)日：
2021-10-08
当前申请(专利权)人：
深圳市华星光电半导体显示技术有限公司
发明人：
樊勇
简单同族：
CN111584689A | CN111584689B
简单同族成员数量：
2
简单同族被引用专利总数：
0
诉讼案件数：
0
法律状态/事件：
授权