标题：
显示装置的制造方法、显示装置的制造装置
授权日：
1900-01-01
公开(公告)号：
CN113196366A
申请日：
2019-09-20
公开(公告)日：
2021-07-30
当前申请(专利权)人：
株式会社半导体能源研究所
发明人：
塚本洋介 | 野中大旗 | 吉住健辅 | 楠纮慈 | 山崎舜平
简单同族：
CN113196366A | KR1020210064238A | WO2020065472A1
简单同族成员数量：
3
简单同族被引用专利总数：
0
诉讼案件数：
0
法律状态/事件：
实质审查