标题：
基板上にナノ多孔性層を製造する方法
授权日：
1900-01-01
公开(公告)号：
JP2016505391A5
申请日：
2013-10-04
公开(公告)日：
2016-12-01
当前申请(专利权)人：
フォルシュングスツェントルム·ユーリッヒ·ゲゼルシャフト·ミット·ベシュレンクテル·ハフツング
发明人：
ヴォルフルム·ベルンハルト | ヤクシェンコ·アレクセイ | オッフェンホイサー·アンドレアス | マイヤー·ディルク
简单同族：
DE102012021222A1 | DE102012021222B4 | EP2911652A2 | EP2911652B1 | ES2670939T3 | JP2016505391A | JP2016505391A5 | US20150241418A1 | US9638693 | WO2014063670A2 | WO2014063670A3
简单同族成员数量：
11
简单同族被引用专利总数：
15
诉讼案件数：
0
法律状态/事件：
驳回