标题：
パターン形成方法、薄膜トランジスタ基板の製造方法、液晶表示装置の製造方法、及び露光マスク
授权日：
1900-01-01
公开(公告)号：
JP2004226898A
申请日：
2003-01-27
公开(公告)日：
2004-08-12
当前申请(专利权)人：
シャープ株式会社
发明人：
滝澤 英明
简单同族：
JP2004226898A | JP4365594B2 | US20040229410A1 | US7279257
简单同族成员数量：
4
简单同族被引用专利总数：
28
诉讼案件数：
0
法律状态/事件：
未缴年费 | 权利转移