标题：
System and method for creating linear and non-linear trenches in silicon and other crystalline materials with a router
授权日：
1900-01-01
公开(公告)号：
EP1662970A2
申请日：
2004-09-17
公开(公告)日：
2006-06-07
当前申请(专利权)人：
BEAVER-VISITEC INTERNATIONAL (US) INC.
发明人：
DASKAL, VADIM, M. | KEENAN, JOSEPH, F. | HUGHES, JAMES, J.
简单同族：
EP1662970A2 | JP2007514457A | US20070187874A1 | US7785485 | WO2005027728A2 | WO2005027728A3
简单同族成员数量：
6
简单同族被引用专利总数：
14
诉讼案件数：
0
法律状态/事件：
撤回 | 权利转移