标题:
相補型金属酸化膜半導体(CMOS)超音波振動子およびその形成方法
当前申请(专利权)人:
バタフライ ネットワーク,インコーポレイテッド
发明人:
ロスバーグ,ジョナサン,エム. | ファイフ,キース,ジー. | ラルストン,タイラー,エス. | ハルヴァート,グレゴリー,エル. | サンチェス,ネバダ,ジェイ.
简单同族:
AU2014234071A1 | AU2014234071B2 | AU2018203942A1 | AU2018203942B2 | CA2905040A1 | CN105307975A | CN105307975B | EP2969914A2 | EP2969914B1 | EP3639937A1 | JP2016518739A | JP2016518739A5 | JP2018023165A | JP6232124B2 | JP6553695B2 | KR1020150144750A | TW201501270A | TW201826495A | TWI623081B | TWI663706B | US10266401 | US20140264660A1 | US20150084053A1 | US20150251896A1 | US20160207760A1 | US20170029271A1 | US20170283254A1 | US20180186628A1 | US20190210869A1 | US9061318 | US9242275 | US9290375 | US9499395 | US9738514 | US9944514 | WO2014151525A2 | WO2014151525A3