标题：
基于压电超声振动的显微切割装置
授权日：
1900-01-01
公开(公告)号：
CN1875893A
申请日：
2006-05-10
公开(公告)日：
2006-12-13
当前申请(专利权)人：
哈尔滨工业大学
发明人：
陈立国 | 荣伟彬 | 刘亚欣 | 王会香
简单同族：
CN1875893A
简单同族成员数量：
1
简单同族被引用专利总数：
7
诉讼案件数：
0
法律状态/事件：
撤回