标题：
基板エッチング装置及びこれを利用した液晶表示素子製造ライン
授权日：
2011-03-18
公开(公告)号：
JP4705624B2
申请日：
2007-12-07
公开(公告)日：
2011-06-22
当前申请(专利权)人：
エルジー ディスプレイ カンパニー リミテッド
发明人：
朴 祥 ▲ミン▼ | 林 圻 燮 | 全 元 燮 | 朴 晩 憲
简单同族：
CN101197255A | CN101197255B | CN101881901A | CN101881901B | JP2008146072A | JP4705624B2 | KR101375848B1 | KR1020080053055A | TW200839928A | TWI376765B | US20080135176A1 | US20130023180A1 | US8293065 | US9411178
简单同族成员数量：
14
简单同族被引用专利总数：
19
诉讼案件数：
0
法律状态/事件：
未缴年费 | 权利转移