标题:
ポリシリコン結晶化方法、そして、これを用いたポリシリコン薄膜トランジスタの製造方法及び液晶表示素子の製造方法
授权日:
1900-01-01
公开(公告)号:
JP2003068646A
申请日:
2002-06-27
公开(公告)日:
2003-03-07
当前申请(专利权)人:
エルジー ディスプレイ カンパニー リミテッド
发明人:
鄭 世 鎭
简单同族:
CN1291452C | CN1396629A | DE10228518A1 | DE10228518B4 | JP2003068646A | JP4282954B2 | KR100487426B1 | KR1020030006104A | TW548851B | US20030013281A1 | US7172952
简单同族成员数量:
11
简单同族被引用专利总数:
47
诉讼案件数:
0
法律状态/事件:
授权