标题：
一种MEMS光学探头
授权日：
2015-04-15
公开(公告)号：
CN102894947B
申请日：
2012-09-26
公开(公告)日：
2015-04-15
当前申请(专利权)人：
无锡微奥科技有限公司
发明人：
傅霖来 | 周正伟 | 王东琳 | 谢会开
简单同族：
CN102894947A | CN102894947B
简单同族成员数量：
2
简单同族被引用专利总数：
9
诉讼案件数：
0
法律状态/事件：
授权