标题：
Capacitive micromachined ultrasonic transducer (CMUT) device with through-substrate via (TSV)
授权日：
2016-12-13
公开(公告)号：
US9520811
申请日：
2013-02-27
公开(公告)日：
2016-12-13
当前申请(专利权)人：
TEXAS INSTRUMENTS INCORPORATED
发明人：
JOHNSON, PETER B. | WYGANT, IRA OAKTREE
简单同族：
CN105025802A | CN105025802B | JP2016511607A | JP2016511607A5 | JP6337026B2 | US10335827 | US20140239769A1 | US20170050217A1 | US9520811 | WO2014134301A1
简单同族成员数量：
10
简单同族被引用专利总数：
13
诉讼案件数：
0
法律状态/事件：
授权 | 权利转移