标题：
Method for manufacturing capacitive micromachined ultrasonic transducer and apparatus configured to obtain subject information using the capacitive micromachined ultrasonic transducer
授权日：
1900-01-01
公开(公告)号：
US20160243588A1
申请日：
2016-05-03
公开(公告)日：
2016-08-25
当前申请(专利权)人：
CANON KABUSHIKI KAISHA
发明人：
NAKANISHI, KOICHIRO
简单同族：
CN103130178A | CN103130178B | JP2013138411A | US20130135971A1 | US20160243588A1 | US9352960
简单同族成员数量：
6
简单同族被引用专利总数：
12
诉讼案件数：
0
法律状态/事件：
撤回