标题：
電圧フィードバックを施した容量性マイクロマシン加工超音波変換器
授权日：
2013-08-16
公开(公告)号：
JP5341909B2
申请日：
2008-12-03
公开(公告)日：
2013-11-13
当前申请(专利权)人：
コロ テクノロジーズ インコーポレイテッド
发明人：
ヨンリ ファン
简单同族：
CN101868982A | CN101868982B | EP2215855A1 | JP2011505766A | JP5341909B2 | US20100244623A1 | US8526271 | WO2009073743A1
简单同族成员数量：
8
简单同族被引用专利总数：
61
诉讼案件数：
0
法律状态/事件：
授权