标题：
具有穿透基板通孔(TSV)的电容式微加工超声换能器(CMUT)器件
授权日：
2018-01-05
公开(公告)号：
CN105025802B
申请日：
2014-02-27
公开(公告)日：
2018-01-05
当前申请(专利权)人：
德克萨斯仪器股份有限公司
发明人：
P·B·约翰逊 | I·O·伍感特
简单同族：
CN105025802A | CN105025802B | JP2016511607A | JP2016511607A5 | JP6337026B2 | US10335827 | US20140239769A1 | US20170050217A1 | US9520811 | WO2014134301A1
简单同族成员数量：
10
简单同族被引用专利总数：
13
诉讼案件数：
0
法律状态/事件：
授权