标题：
电容式超声传感器及其制备方法
授权日：
2012-06-06
公开(公告)号：
CN102178545B
申请日：
2011-02-14
公开(公告)日：
2012-06-06
当前申请(专利权)人：
中国科学院深圳先进技术研究院
发明人：
俞挺 | 于峰崎
简单同族：
CN102178545A | CN102178545B
简单同族成员数量：
2
简单同族被引用专利总数：
6
诉讼案件数：
0
法律状态/事件：
授权