标题：
高电压MEMS，以及包括这种MEMS的便携式超声设备
授权日：
1900-01-01
公开(公告)号：
CN106456113A
申请日：
2015-03-13
公开(公告)日：
2017-02-22
当前申请(专利权)人：
诺维欧扫描有限责任公司
发明人：
J·J·科宁 | R·沃尔特
简单同族：
CN106456113A | EP3116663A1 | NL2012419A | NL2012419B1 | US20170042507A1 | WO2015137810A1
简单同族成员数量：
6
简单同族被引用专利总数：
2
诉讼案件数：
0
法律状态/事件：
实质审查