标题：
一种电容式MEMS传感器阵列
授权日：
1900-01-01
公开(公告)号：
CN107334461A
申请日：
2017-08-16
公开(公告)日：
2017-11-10
当前申请(专利权)人：
北京先通康桥医药科技有限公司
发明人：
王洪超 | 宋军华 | 曹健 | 卢狄克 | 王晓琴 | 陈金
简单同族：
CN107334461A | CN208212011U
简单同族成员数量：
2
简单同族被引用专利总数：
3
诉讼案件数：
0
法律状态/事件：
实质审查