标题：
Pressure sensor, differential pressure sensor, and mass flow rate control device using same
授权日：
2019-01-08
公开(公告)号：
US10175132
申请日：
2015-10-06
公开(公告)日：
2019-01-08
当前申请(专利权)人：
HITACHI METALS, LTD.
发明人：
SUZUKI, KENGO | SAKAGUCHI, ISAO | UMEYAMA, TAKAHIRO
简单同族：
CN107110727A | CN107110727B | JP6237923B2 | JPWO2016056555A1 | KR101959150B1 | KR1020170053678A | US10175132 | US20170299456A1 | WO2016056555A1
简单同族成员数量：
9
简单同族被引用专利总数：
5
诉讼案件数：
0
法律状态/事件：
授权 | 权利转移