标题：
Micro electro mechanical system, semiconductor device, and manufacturing method thereof
授权日：
2017-03-21
公开(公告)号：
US9597933
申请日：
2015-06-04
公开(公告)日：
2017-03-21
当前申请(专利权)人：
SEMICONDUCTOR ENERGY LABORATORY CO., LTD.
发明人：
YAMAGUCHI, MAYUMI | IZUMI, KONAMI | TATEISHI, FUMINORI
简单同族：
CN101024481A | CN101024481B | US10035388 | US20070152537A1 | US20090230815A1 | US20140370639A1 | US20150343857A1 | US20170182853A1 | US7528529 | US8822251 | US9054227 | US9597933
简单同族成员数量：
12
简单同族被引用专利总数：
34
诉讼案件数：
0
法律状态/事件：
授权 | 权利转移