标题：
Low coherence interferometric system for optical metrology
授权日：
1900-01-01
公开(公告)号：
US20050254059A1
申请日：
2004-05-14
公开(公告)日：
2005-11-17
当前申请(专利权)人：
VZN CAPITAL, LLC
发明人：
ALPHONSE, GERARD A.
简单同族：
US20050254059A1 | WO2005114150A1 | WO2005114150B1
简单同族成员数量：
3
简单同族被引用专利总数：
80
诉讼案件数：
0
法律状态/事件：
撤回 | 权利转移