标题：
Apparatus and Method for Microfabricated Multi-Dimensional Sensors and Sensing Systems
授权日：
1900-01-01
公开(公告)号：
US20120050038A1
申请日：
2011-10-12
公开(公告)日：
2012-03-01
当前申请(专利权)人：
SENSIRION AG
发明人：
STETTER, JOSEPH R.
简单同族：
US20120050038A1 | US8426932
简单同族成员数量：
2
简单同族被引用专利总数：
13
诉讼案件数：
0
法律状态/事件：
授权 | 权利转移