标题：
半导体装置、测量系统以及测量方法
授权日：
1900-01-01
公开(公告)号：
CN110547798A
申请日：
2019-06-04
公开(公告)日：
2019-12-10
当前申请(专利权)人：
拉碧斯半导体株式会社
发明人：
上原辉昭
简单同族：
CN110547798A | JP2019208843A | US20190365275A1
简单同族成员数量：
3
简单同族被引用专利总数：
0
诉讼案件数：
0
法律状态/事件：
公开