标题:
마이크로-디바이스들의 이송을 위한 시스템들 및 방법들
授权日:
1900-01-01
公开(公告)号:
KR1020190013955A
申请日:
2017-06-15
公开(公告)日:
2019-02-11
当前申请(专利权)人:
어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드
发明人:
주, 밍웨이 | 가나파티아판, 시바파키아 | 푸, 보이 | 응, 호우 티. | 파티반들라, 나그 비.
简单同族:
CN109314106A | EP3479406A1 | EP3479406A4 | JP2019527471A | KR1020190013955A | TW201810604A | US10032827 | US10692923 | US20180006083A1 | US20180315793A1 | WO2018005118A1
简单同族成员数量:
11
简单同族被引用专利总数:
12
诉讼案件数:
0
法律状态/事件:
实质审查