标题：
一种基于干法刻蚀的悬挂式微器件结构转移方法
授权日：
2019-06-11
公开(公告)号：
CN107946414B
申请日：
2017-10-29
公开(公告)日：
2019-06-11
当前申请(专利权)人：
广东省半导体产业技术研究院
发明人：
潘章旭 | 龚政 | 陈志涛 | 刘久澄 | 刘晓燕 | 任远 | 曾昭烩 | 李叶林
简单同族：
CN107946414A | CN107946414B
简单同族成员数量：
2
简单同族被引用专利总数：
3
诉讼案件数：
0
法律状态/事件：
授权