标题：
一种基于转印轴差速匹配的微器件巨量转移装置及方法
授权日：
1900-01-01
公开(公告)号：
CN109244021A
申请日：
2018-08-29
公开(公告)日：
2019-01-18
当前申请(专利权)人：
华中科技大学
发明人：
陈建魁 | 尹周平 | 金一威
简单同族：
CN109244021A
简单同族成员数量：
1
简单同族被引用专利总数：
0
诉讼案件数：
0
法律状态/事件：
实质审查