标题：
성막 장치, 제조 시스템, 유기 EL패널의 제조 시스템 및 성막 방법
授权日：
1900-01-01
公开(公告)号：
KR1020200042384A
申请日：
2019-05-15
公开(公告)日：
2020-04-23
当前申请(专利权)人：
캐논 톡키 가부시키가이샤
发明人：
타카츠 카즈마사 | 코우노 타카시
简单同族：
CN111041424A | JP2020063465A | KR1020200042384A
简单同族成员数量：
3
简单同族被引用专利总数：
0
诉讼案件数：
0
法律状态/事件：
公开