标题：
성막장치, 성막방법 및 이를 사용한 유기 EL 표시장치의 제조방법
授权日：
2019-02-26
公开(公告)号：
KR101954539B1
申请日：
2017-11-29
公开(公告)日：
2019-03-05
当前申请(专利权)人：
캐논 톡키 가부시키가이샤
发明人：
가시쿠라 가즈히토 | 이시이 히로시
简单同族：
CN109837505A | JP2019099914A | KR101954539B1
简单同族成员数量：
3
简单同族被引用专利总数：
0
诉讼案件数：
0
法律状态/事件：
授权