标题：
성막장치, 성막방법 및 이를 사용한 유기 EL 표시 장치의 제조방법
授权日：
2019-08-06
公开(公告)号：
KR102010158B1
申请日：
2017-12-26
公开(公告)日：
2019-08-12
当前申请(专利权)人：
캐논 톡키 가부시키가이샤 | 주식회사 아오이
发明人：
카시쿠라 카즈히토 | 이시이 히로시 | 호소야 테루유키
简单同族：
CN109957774A | JP2019117922A | KR102010158B1 | KR1020190078432A
简单同族成员数量：
4
简单同族被引用专利总数：
0
诉讼案件数：
0
法律状态/事件：
授权 | 复审