标题：
기판 재치 방법, 성막 방법, 성막 장치, 및 유기 EL 패널의 제조 시스템
授权日：
1900-01-01
公开(公告)号：
KR1020200075747A
申请日：
2019-12-09
公开(公告)日：
2020-06-26
当前申请(专利权)人：
캐논 톡키 가부시키가이샤
发明人：
스시하라 토모카즈
简单同族：
CN111331622A | JP2020098871A | KR1020200075747A
简单同族成员数量：
3
简单同族被引用专利总数：
0
诉讼案件数：
0
法律状态/事件：
实质审查