标题：
발명의 명칭 기판 손상을 줄일 수 있는 스퍼터링 장치 및 이에 사용되는 광학차폐수단
授权日：
1900-01-01
公开(公告)号：
KR1020160123785A
申请日：
2015-04-17
公开(公告)日：
2016-10-26
当前申请(专利权)人：
(주)에스엔텍
发明人：
백주열 | 김부경 | 최상대 | 박성기 | 안경준
简单同族：
KR101674547B1 | KR1020160123785A
简单同族成员数量：
2
简单同族被引用专利总数：
0
诉讼案件数：
0
法律状态/事件：
授权