标题：
발명의 명칭 증착률 모니터링 장치, 이를 구비하는 유기층 증착 장치, 증착률 모니터링 방법, 및 이를 이
授权日：
1900-01-01
公开(公告)号：
KR1020150000356A
申请日：
2013-06-24
公开(公告)日：
2015-01-02
当前申请(专利权)人：
삼성디스플레이 주식회사
发明人：
보로노프알렉산더 | 마슬로프드미트리 | 한규완
简单同族：
KR1020150000356A | KR102108361B1 | US20140377890A1 | US9347886
简单同族成员数量：
4
简单同族被引用专利总数：
2
诉讼案件数：
0
法律状态/事件：
授权