标题：
증착 챔버, 이를 포함하는 증착 시스템 및 유기 발광 표시장치 제조방법
授权日：
2020-04-24
公开(公告)号：
KR102106414B1
申请日：
2013-04-26
公开(公告)日：
2020-05-06
当前申请(专利权)人：
삼성디스플레이 주식회사
发明人：
주성중 | 차유민 | 박석환
简单同族：
CN104120386A | CN104120386B | KR1020140128078A | KR102106414B1 | TW201441392A | TWI607100B | US20140322852A1 | US9267202
简单同族成员数量：
8
简单同族被引用专利总数：
22
诉讼案件数：
0
法律状态/事件：
授权 | 复审