标题：
기상 증착 장치, 이를 이용한 박막 형성 방법 및 유기 발광 표시 장치 제조 방법
授权日：
2019-06-07
公开(公告)号：
KR101989058B1
申请日：
2012-10-24
公开(公告)日：
2019-06-14
当前申请(专利权)人：
삼성디스플레이 주식회사
发明人：
김인교 | 허명수 | 정석원 | 장철민 | 김재현 | 김진광 | 심창우 | 기성훈
简单同族：
KR101989058B1 | KR1020140052526A | US20140113395A1 | US9224612
简单同族成员数量：
4
简单同族被引用专利总数：
3
诉讼案件数：
0
法律状态/事件：
授权