标题：
증착 장치, 이를 이용한 박막 형성 방법 및 유기 발광 표시 장치 제조 방법
授权日：
2020-05-11
公开(公告)号：
KR102111559B1
申请日：
2013-07-25
公开(公告)日：
2020-06-09
当前申请(专利权)人：
삼성디스플레이 주식회사
发明人：
허명수 | 정석원 | 김성철 | 홍상혁 | 장철민
简单同族：
KR1020150012582A | KR102111559B1 | US20150031167A1 | US9142415
简单同族成员数量：
4
简单同族被引用专利总数：
0
诉讼案件数：
0
法律状态/事件：
授权