标题：
증착 장치, 이를 이용한 박막 형성 방법 및 유기 발광 표시 장치 제조 방법
授权日：
2019-11-28
公开(公告)号：
KR102052074B1
申请日：
2013-04-04
公开(公告)日：
2019-12-05
当前申请(专利权)人：
삼성디스플레이 주식회사
发明人：
김선호 | 허명수 | 이정호 | 조철래 | 주현우 | 이용석
简单同族：
CN104099572A | CN104099572B | KR1020140120735A | KR102052074B1 | US10081862 | US20140302624A1 | US20180305809A1
简单同族成员数量：
7
简单同族被引用专利总数：
4
诉讼案件数：
0
法律状态/事件：
授权