标题：
발명의 명칭 기상 증착 장치, 이를 이용한 박막 형성 방법 및 유기 발광 표시 장치 제조 방법
授权日：
1900-01-01
公开(公告)号：
KR1020140064135A
申请日：
2012-11-19
公开(公告)日：
2014-05-28
当前申请(专利权)人：
삼성디스플레이 주식회사
发明人：
김진광 | 송승용 | 허명수 | 정석원 | 장철민 | 김재현 | 김성철
简单同族：
KR101420333B1 | KR1020140064135A | US10446753 | US20140141154A1 | US20160322574A1 | US9390841
简单同族成员数量：
6
简单同族被引用专利总数：
2
诉讼案件数：
0
法律状态/事件：
授权