标题：
발명의 명칭 박막 증착 장치와, 이를 이용한 증착 방법 및 유기 발광 표시 장치의 제조 방법
授权日：
1900-01-01
公开(公告)号：
KR1020150012587A
申请日：
2013-07-25
公开(公告)日：
2015-02-04
当前申请(专利权)人：
삼성디스플레이 주식회사
发明人：
이웅수 | 박진우 | 최수혁
简单同族：
CN104342635A | CN104342635B | KR1020150012587A | KR102090712B1 | US20150031151A1 | US9624575
简单同族成员数量：
6
简单同族被引用专利总数：
8
诉讼案件数：
0
法律状态/事件：
授权