标题：
박막 형성 장치 및 이를 이용한 유기 발광 표시 장치의 제조 방법
授权日：
2019-04-08
公开(公告)号：
KR101968664B1
申请日：
2012-08-06
公开(公告)日：
2019-08-14
当前申请(专利权)人：
삼성디스플레이 주식회사
发明人：
이상조 | 조성환
简单同族：
CN103579292A | CN103579292B | KR101968664B1 | KR1020140019625A | TW201408132A | US20140038330A1 | US9209399
简单同族成员数量：
7
简单同族被引用专利总数：
1
诉讼案件数：
0
法律状态/事件：
授权