标题：
발명의 명칭 박막증착장치 및 이를 이용한 유기발광표시장치의 제조방법.
授权日：
1900-01-01
公开(公告)号：
KR1020140142626A
申请日：
2013-06-04
公开(公告)日：
2014-12-12
当前申请(专利权)人：
삼성디스플레이 주식회사
发明人：
정진구 | 최준호 | 김성민
简单同族：
KR1020140142626A | KR102080010B1 | US20140357002A1 | US9196833
简单同族成员数量：
4
简单同族被引用专利总数：
3
诉讼案件数：
0
法律状态/事件：
授权