标题：
유기물 증착용 이온화된 클러스터 빔 증착장치 및 이를 이용한 유기물의 증착방법
授权日：
2005-04-11
公开(公告)号：
KR100484318B1
申请日：
2002-05-21
公开(公告)日：
2005-04-20
当前申请(专利权)人：
최종호 | 김은숙 | 김재유
发明人：
최종호 | 김은숙 | 김재유
简单同族：
KR100484318B1 | KR1020030090215A
简单同族成员数量：
2
简单同族被引用专利总数：
4
诉讼案件数：
0
法律状态/事件：
未缴年费 | 权利转移