标题:
유기층 증착 장치 및 도핑된 유기 주 재료의 층 증착 장치
公开(公告)号:
KR1020020082127A
发明人:
반슬라이크스티븐에이 | 마르쿠스마이클에이 | 스푼하우어존피 | 스판로버트지 | 프리맨데니스알
简单同族:
CN1386892A | DE60200607D1 | DE60200607T2 | EP1251189A1 | EP1251189B1 | JP2003007462A | KR1020020082127A | TWI244872B | US20020189542A1 | US6513451