标题：
발명의 명칭 진공 증착 장치, 진공 증착 방법 및 유기 ＥＬ 표시 장치의 제조 방법
授权日：
2012-12-24
公开(公告)号：
KR101217312B1
申请日：
2010-11-04
公开(公告)日：
2012-12-31
当前申请(专利权)人：
가부시키가이샤 히다치 하이테크놀로지즈
发明人：
미야께다쯔야 | 다마꼬시다께시 | 이시하라신고 | 마쯔우라히로야스 | 미네까와히데아끼
简单同族：
CN102061445A | CN102061445B | JP2011105962A | JP5452178B2 | KR101217312B1 | KR1020110052469A | TW201127973A
简单同族成员数量：
7
简单同族被引用专利总数：
31
诉讼案件数：
0
法律状态/事件：
未缴年费