标题：
발명의 명칭 박막 증착 장치 및 이를 이용한 유기 발광 디스플레이 장치의 제조 방법
授权日：
1900-01-01
公开(公告)号：
KR1020120067163A
申请日：
2010-12-15
公开(公告)日：
2012-06-25
当前申请(专利权)人：
삼성디스플레이 주식회사
发明人：
김무겸 | 박창모
简单同族：
KR1020120067163A | US20120156818A1 | US8920563
简单同族成员数量：
3
简单同族被引用专利总数：
2
诉讼案件数：
0
法律状态/事件：
驳回