当前申请(专利权)人:
어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드
发明人:
원,태경 | 캄포,호세마누엘디귀즈 | 야다브,산자이디.
简单同族:
CN101971699A | CN104752626A | JP2011513944A | JP2011513944A5 | KR101455047B1 | KR1020110007128A | TW200950173A | TWI499106B | US20090230425A1 | US20110297921A1 | US7951620 | US8404502 | WO2009114242A1