标题：
증착장치의 증착용 기판, 상기 증착용 기판을 사용한 성막 방법 및 유기전계발광표시장치의 제조방법
授权日：
1900-01-01
公开(公告)号：
KR1020110005530A
申请日：
2009-07-10
公开(公告)日：
2011-01-18
当前申请(专利权)人：
주식회사 엔씰텍
发明人：
노재상 | 홍원의
简单同族：
KR1020110005530A | TW201108408A | WO2011005008A2 | WO2011005008A3
简单同族成员数量：
4
简单同族被引用专利总数：
8
诉讼案件数：
0
法律状态/事件：
驳回