标题：
마스크를 사용해서 층 물질을 부착시켜 기판 상에사전설정된 패턴의 층을 형성하는 방법
授权日：
1900-01-01
公开(公告)号：
KR1020020025760A
申请日：
2001-09-27
公开(公告)日：
2002-04-04
当前申请(专利权)人：
산요덴키가부시키가이샤
发明人：
야마다쯔또무 | 요네다기요시
简单同族：
CN1265680C | CN1358055A | EP1207557A2 | EP1207557A3 | JP2002175878A | KR100518709B1 | KR1020020025760A | TW546985B | US20020076847A1
简单同族成员数量：
9
简单同族被引用专利总数：
213
诉讼案件数：
0
法律状态/事件：
放弃