标题：
Vapor deposition device, vapor deposition method, and organic el display device
授权日：
1900-01-01
公开(公告)号：
US20130323881A1
申请日：
2012-03-02
公开(公告)日：
2013-12-05
当前申请(专利权)人：
SHARP KABUSHIKI KAISHA
发明人：
SONODA, TOHRU | KAWATO, SHINICHI | INOUE, SATOSHI | HASHIMOTO, SATOSHI
简单同族：
CN103282543A | CN103282543B | JP5331264B2 | JPWO2012121139A1 | US20130323881A1 | US8673077 | WO2012121139A1
简单同族成员数量：
7
简单同族被引用专利总数：
36
诉讼案件数：
0
法律状态/事件：
授权 | 权利转移