标题：
Vapor deposition apparatus, vapor deposition method and method of manufacturing organic el display apparatus
授权日：
1900-01-01
公开(公告)号：
US20200161554A1
申请日：
2020-01-22
公开(公告)日：
2020-05-21
当前申请(专利权)人：
SAKAI DISPLAY PRODUCTS CORPORATION
发明人：
KISHIMOTO, KATSUHIKO
简单同族：
CN110494585A | JP6301043B1 | JPWO2018189833A1 | US10340456 | US10580986 | US20190067582A1 | US20190267547A1 | US20200161554A1 | WO2018189833A1
简单同族成员数量：
9
简单同族被引用专利总数：
0
诉讼案件数：
0
法律状态/事件：
实质审查